Kaip pasirinkti švarias servetėles puslaidininkių gamybai

Puslaidininkių gamyboje net nedidelis užteršimo kiekis gali turėti įtakos produkto išeigai, įrangos veikimui ir proceso stabilumui. Nors švarių patalpų servetėlės ​​gali atrodyti kaip paprastos eksploatacinės medžiagos, netinkama šluostymo medžiaga gali patekti į kontroliuojamą gamybos aplinką dalelių, pluoštų, joninių likučių arba cheminio užteršimo.

Puslaidininkiniams gaminiams tinkamos švarios patalpos šluostės yra ne tik ta, kurios kaina yra mažiausia. Jis turėtų būti parinktas pagalšvarios patalpos klasė, valymas, užteršimo rizika, paviršiaus jautrumas, cheminis suderinamumas ir reikalingas švaros lygis.

Puslaidininkių gamyba apima labai jautrius paviršius ir procesus – nuo ​​plokštelių tvarkymo ir litografijos iki nusodinimo, ėsdinimo, tikrinimo, pakavimo ir įrangos priežiūros.

Šių procesų metu užteršimas gali kilti iš daugelio šaltinių:

• Oro dalelės
• Žmogaus elgesys
• Įrangos paviršiai
• Pakavimo medžiagos
• Chemikalai ir tirpikliai
• Pluoštai ir pūkai
• Jonų likučiai
• Organinės liekanos
• Netinkamos valymo procedūros

Įprasta pramoninė šluostė gali atrodyti švari, tačiau šluostymo metu vis tiek gali išsiskirti dalelių ar pašalinamų likučių.

Švarių patalpų servetėlės ​​yra specialiai sukurtos ir apdorotos taip, kad būtų kuo mažiau užterštos ir užtikrintų kontroliuojamą valymo efektyvumą.

Naudojant puslaidininkius, tinkama servetėle turėtų būti:

Mažas dalelių susidarymas + mažas pūkelių kiekis + mažas joninis užterštumas + mažas NVR + geras sugeriamumas + kontroliuojamas valymas

Tačiau ne kiekvienai puslaidininkių programai reikia to paties nuvalymo.

Pirmas žingsnis yra nustatytiką valote ir kokį užteršimą bandote pašalinti.

Šluostei, naudojamai bendrajai įrangos priežiūrai, nebūtinai reikia tų pačių specifikacijų, kaip ir servetėlėms, naudojamai aplink jautrią optinę-plokštelių apdorojimo įrangą.

Įrangos paviršių valymas

Bendram įrangos valymui Cleanroom servetėlės ​​naudojamos dulkėms, dalelėms, cheminių medžiagų likučiams ir procesų užterštumui pašalinti nuo įrangos paviršių. Priklausomai nuo užterštumo lygio, tinka poliesterio arba poliesterio -celiuliozės mišinio servetėlės.

Tikslus paviršiaus valymas

Jautriems paviršiams reikia švaresnės ir labiau kontroliuojamos valymo medžiagos. Šioms reikmėms dažnai svarstomos megztos poliesterio servetėlės ​​sandariais kraštais, nes jose susidaro mažai dalelių ir pluošto.

Cheminis ir tirpiklių valymas

Kai kuriuose puslaidininkių valymo procesuose naudojamas IPA, etanolis, acetonas ar kitos valymo cheminės medžiagos. Šluostė, kuri gerai veikia su vandeniu, nebūtinai yra geriausias pasirinkimas valant tirpikliu{1}}.

Medžiaga yra vienas iš svarbiausių veiksnių, turinčių įtakos švarių patalpų šluostelių veikimui.

Skirtingos medžiagos turi skirtingą švarumo, sugeriamumo, stiprumo ir cheminio atsparumo lygį.

Poliesterio švarios kambario servetėlės

Poliesteris yra viena iš plačiausiai naudojamų medžiagų, skirtų kritinėms švarios patalpoms valyti. Labai kontroliuojamiems procesams,100 % ištisinio{1}}gijinio poliesteriogali būti pageidaujamas pasirinkimas, nes ištisinė gijų konstrukcija padeda sumažinti pluošto išsiskyrimą.

Poliesterio{0}}celiuliozės švarios patalpos servetėlės

Poliesterio{0}}celiuliozės servetėlės ​​sujungia sintetinių pluoštų stiprumą ir švarą bei celiuliozės sugeriamumą.

Jie gali užtikrinti gerą pusiausvyrą tarp:Švara + sugeriamumas + ekonomiškumas

Tais atvejais, kai ypač mažas dalelių susidarymas nėra pagrindinis reikalavimas, poliesterio{0}}celiuliozės servetėlės ​​gali būti praktiška alternatyva brangesnėms megztoms poliesterio servetėlėms.

Polipropileno servetėlės

Polipropilenas yra dar viena naudinga medžiaga, skirta pramoniniam ir puslaidininkių{0}}valymui.

Puslaidininkių gamybai,pūkelių ir dalelių susidarymas yra vienas iš svarbiausių aspektų.

Servetėlė gali būti minkšta ir gerai sugerianti, tačiau išskirdama nepriimtiną kiekį dalelių ar pluoštų.

Lygindami tiekėjus, paprašykite faktinių bandymų duomenų, o ne pasikliaukite tik tokiais aprašymais, kaip:

„be pūkelių-“

arba

„Itin{0}}švarus“

Vien šios sąlygos nesuteikia pakankamai techninės informacijos sprendimams priimti pirkimą.

Svarbūs parametrai gali būti:

• Dalelių išsiskyrimas
• Pluošto išleidimas
• Nelakiosios liekanos (NVR)
• Jonų tarša
• Sugeriamumas
• Ekstrahuojami likučiai

Joninė tarša gali būti ypač svarbi puslaidininkių ir elektronikos gamyboje. Teršalai gali paveikti jautrius procesus ar paviršius.

Įprasti jonai, įvertinti atliekant švarių patalpų šluosčių bandymus, yra šie:

• Chloridas
• Sulfatas
• Amonio
• Fluoras
• Nitritas
• Bromidas
• Nitratas
• Fosfatas

Nelakūs likučiai reiškia medžiagą, kuri lieka ant paviršiaus po to, kai išgaravo lakieji komponentai. Tai gali būti ypač aktualu, kai servetėlės ​​naudojamos su tirpikliais arba ant labai jautrių paviršių. Servetėlė su dideliu NVR gali palikti nepageidaujamų likučių net tada, kai paviršius atrodo švarus.

Šluostė, pasižyminti puikiomis dalelių savybėmis, tačiau prastai sugerianti skystį, gali pailginti valymo laiką ir pailginti sąnaudas.

Todėl ideali servetėlė turi užtikrinti tinkamą pusiausvyrąšvara ir sugeriamumas.

Pavyzdžiui: